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Osaka大阪真空小型耐大氣沖擊渦輪分子泵
簡要描述：

Osaka大阪真空TG220F小型耐大氣沖擊渦輪分子泵
Osaka大阪真空小型耐大氣沖擊渦輪分子泵

特點：
輕巧設計
節(jié)能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
經(jīng)400次大氣沖擊驗證
多種通信模式
符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

  • 產品型號：TG220F
  • 廠商性質：代理商
  • 更新時間：2025-04-19
  • 訪  問  量：96

詳細介紹

Osaka大阪真空小型耐大氣沖擊渦輪分子泵

Osaka大阪真空小型耐大氣沖擊渦輪分子泵


  • 輕巧設計

  • 節(jié)能

  • 迅速啟動

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強
    經(jīng)400次大氣沖擊驗證

  • 多種通信模式

  • 符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導體制造

  • 電子槍排氣，離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理，表面改質

  • 各種電子部件的制造

  • 分析，試驗裝置

  • 管球制造，光學部件制造

  • 加速器，放射線設施，核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發(fā)

※排放腐蝕性氣體時，請選擇耐腐蝕性的TG-M，TG系列。

吸氣口法蘭VG100
CF100
ISO-R100
排氣速度N2 (L/s)220
N2(附加金屬保護網(wǎng)) (L/s)210
H2 (L/s)100
最大壓縮比N21×108
H24×102
極限壓力Pa/Torr<1×10-6/<7.5×10-9
最大氣體流量※1N2 (sccm)400
啟動時間(min) 1-1.2
停止時間(min)2.5-3.5
允許輔助壓力(Pa/Torr)260/2
推薦輔助泵(L/min)≧80
安裝角度任意
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6

※1：輔助泵的容量是160L/min情況下的最大容許流量

[ 使用環(huán)境溫度 ]

極限壓力保證環(huán)境溫度是10～23℃。另外，容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。

[ 對應氣體種類 ]

由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。






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