一、真空度不足或無法達到額定值

常見原因

1. 泵油問題

• 泵油污染（混入水分、粉塵、化學氣體）導致黏度下降或乳化，失去密封和潤滑作用。

• 油位過低，無法形成完整的油膜密封；或油位過高，導致泵內阻力增大、效率降低。

• 泵油牌號錯誤（如使用低真空油替代高真空油），或不同牌號油混用產生化學反應。

2. 系統漏氣

• 進氣口、排氣口、管路連接處密封件老化（如 O 型圈開裂），或螺栓松動。

• 泵體鑄件存在砂眼、裂紋，或長期腐蝕導致微小漏點。

3. 內部零件磨損

• 旋片磨損變薄、邊緣崩裂，或彈簧彈性衰減，導致旋片無法緊貼泵腔內壁。

• 泵腔 / 轉子表面劃傷、腐蝕，形成間隙過大（正常間隙應小于 0.01~0.03mm）。

4. 過濾器堵塞

• 進氣口過濾器積塵過多，阻礙氣體吸入；排氣口油霧過濾器堵塞，導致泵內壓力升高。

解決方法

• 油處理：停機檢查油位和油質，污染油需更換并沖洗泵腔；按說明書選用指定牌號新油，避免混用。

• 檢漏：用肥皂泡法或氦質譜檢漏儀檢測管路和泵體，更換老化密封件，緊固螺栓；嚴重漏點需補焊或返廠維修。

• 零件檢修：拆解泵腔，測量旋片厚度（磨損超過 10% 需更換）、彈簧彈力（可與新彈簧對比），研磨修復輕微磨損的泵腔 / 轉子，嚴重時更換部件。

• 清潔過濾器：清理或更換進氣口濾芯，排氣口過濾器堵塞時直接更換（不可清洗復用）。

二、泵體過熱（溫度超過 70℃）

常見原因

1. 散熱不良

• 泵體表面灰塵堆積，影響自然散熱；安裝位置通風不足（如緊貼墻壁或封閉柜內）。

• 風冷型泵的風扇損壞或散熱孔堵塞；水冷型泵的冷卻水流量不足或水溫過高。

2. 潤滑不足

• 泵油嚴重不足或黏度降低，導致旋片與泵腔干摩擦生熱。

• 油循環系統故障（如油泵損壞、油路堵塞），油無法正常輸送至潤滑點。

3. 負載過大

• 長時間抽取高濃度可凝性氣體（如水蒸氣），導致泵內油乳化，阻力激增。

• 系統真空度過高（接近泵的極限真空），進入 “過載" 狀態，電機能耗轉化為熱量。

解決方法

• 改善散熱：清潔泵體表面及散熱孔，確保安裝間距≥30cm；檢查風扇運轉是否正常，水冷型泵需調節冷卻水壓力（0.1~0.2MPa）和溫度（≤25℃）。

• 油系統排查：補充或更換泵油，檢查油泵是否異響或卡死，疏通油路堵塞點（如濾網、油管彎折處）。

• 降低負載：避免長時間極限真空運行，抽取可凝性氣體時加裝冷凝器或使用氣鎮閥（如有）；若氣體含水分，定期 “烤泵" 除水或更換抗乳化油。

三、異常噪音（金屬撞擊聲、尖銳摩擦聲或周期性異響）

常見原因

1. 旋片故障

• 旋片斷裂或脫落，撞擊泵腔內壁產生 “咔嗒" 聲；旋片與彈簧配合松動，高速旋轉時晃動摩擦。

2. 軸承磨損

• 電機軸承或泵體軸承潤滑不足、進水生銹，導致運轉時發出 “嗡嗡" 或 “沙沙" 聲。

3. 異物進入

• 進氣口未裝過濾器，粉塵、顆?；蛞后w進入泵腔，卡在旋片與泵腔之間。

4. 裝配問題

• 維修后零件安裝不到位（如轉子偏心、旋片安裝方向錯誤），運行時發生干涉。

解決方法

• 緊急停機檢查：聽到異常噪音立即停機，拆解泵腔查看旋片是否完整，清除腔內異物（如金屬碎屑、粉塵團）。

• 軸承維護：檢查軸承游隙（用手轉動軸，若有明顯晃動需更換），添加或更換軸承潤滑脂（通常為鋰基脂，填充量為軸承腔的 1/3~1/2）。

• 重新裝配：確保零件安裝位置正確，旋片彈簧方向與轉子旋轉方向匹配，必要時請專業人員操作