日本 YAMAMOTO 山本鍍金 電鍍實驗裝置

日本 YAMAMOTO 山本鍍金 電鍍實驗裝置

2-12英寸硅片電鍍設備一套。通過使用特殊的夾具，可以進行半導體和MEMS的精密電鍍。

特征

水族箱的結構是不斷進行過濾，同時從水箱底部產生溫和的對流，導致溢出。

有可進行高速攪拌的1面溢流型和2面溢流型。使用槳式攪拌直接攪拌。

也可作為生產設備使用。

基材材質

它不僅可用于硅晶圓，還可用于SiC、玻璃、GaAs、InP等材料制成的基板。

關于定制生產

基于標準設備，我們可以定制形狀與您的樣品相匹配的夾具和雙面電鍍夾具。我們
還擁有陽極氧化和陽極氧化夾具等制造設備的跟蹤記錄。
夾具有全密封夾具、非密封夾具、臥式夾具等多種類型

(*1) 請選擇定向平面型/缺口型。 還備有密封型/吸入密封型
（*2）不溶性陽極也備有隔膜型。
(*3) 英寸數填寫在產品編號的□標記中。
(*) 這是一套適用于 YPP 電源的電源、溫度控制器和陽極板單獨出售。請與A-57-15031WA、A-57-15100WA、A-57-15101D分開 電源。PC單獨出售。

該設備對硅片和板狀樣品進行化學鍍。電鍍是通過旋轉一張或多張晶圓并上下擺動它們來進行的。它還可用于清潔樣品。

這是電鍍用搖擺裝置，尺寸與晶圓水箱兼容。在樣品附近攪拌可提高電鍍沉積的均勻性。