全國(guó)服務(wù)咨詢(xún)熱線(xiàn):
192-7009-5986
192-7009-5986
當(dāng)前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > ULVAC愛(ài)發(fā)科 > 濺射設(shè)備 > SV-200 SV-4540 SV-6040日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
產(chǎn)品型號(hào)：SV-200 SV-4540 SV-6040廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商更新時(shí)間：2024-11-25訪(fǎng) 問(wèn) 量：341
產(chǎn)品分類(lèi)
CLASSIFICATION
相關(guān)文章
RELATED ARTICLES2025-04-12
2025-02-18
2024-08-09
2025-02-19
2025-04-16
2025-04-29
2025-02-11
2024-09-02
2025-02-18
2025-04-19
詳細(xì)介紹
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
日本ULVAC愛(ài)發(fā)科大型設(shè)備濺射SV-9045
SV-4540、6040和9045為轉(zhuǎn)盤(pán)式，具有較大的電路板裝載能力，非常適合中小型或小批量、多品種生產(chǎn)。
SV-200 圓盤(pán)壓模機(jī) 鎳膜沉積專(zhuān)用設(shè)備，超緊湊、全自動(dòng)、高產(chǎn)量。
在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜
| SV-200 | SV-4540 | SV-6040 | SV-9045 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)排氣系統(tǒng) | 8"低溫泵 | 12"低溫泵 | 12"低溫泵 | 16"低溫泵 |
| 極限壓力 | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa | 6.7e-5Pa |
| 車(chē)廠(chǎng)方向 | 邊 | 邊 | 邊 | 邊 |
| 成膜面積均勻性 靜 轉(zhuǎn) | Φ200mm±5% | L300mm±10% | L300mm±10% | L400mm±10% |
| 基材加熱 | 沒(méi)有任何 | 250℃ | 250℃ | 250℃ |
| 控制系統(tǒng) | 自動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | 自動(dòng)的 | 自動(dòng)的 |
不包括選項(xiàng)SV-200 | 渦輪泵 | 非水冷電極 | ||
| 油擴(kuò)散泵 | APC機(jī)制 | |||
| 多個(gè)同時(shí)倉(cāng)庫(kù) | 基材換向機(jī)構(gòu) | |||
| 下站 | 反應(yīng)濺射 | |||
| 常規(guī)陰極 | ||||
| 鐵磁材料陰極 | ||||
| 射頻蝕刻清洗 (SV-4540) | ||||
| 偏置機(jī)構(gòu)（SV-4540） | ||||
特別提示：商品詳情頁(yè)中（含主圖）以文字或者圖片形式標(biāo)注的搶購(gòu)價(jià)等價(jià)格可能是在特定活動(dòng)時(shí)段下的價(jià)格，商品的具體價(jià)格以訂單結(jié)算頁(yè)價(jià)格為準(zhǔn)或者是您與商家聯(lián)系后協(xié)商達(dá)成的實(shí)際成交價(jià)格為準(zhǔn)；如您發(fā)現(xiàn)活動(dòng)商品價(jià)格或活動(dòng)信息有異常，建議購(gòu)買(mǎi)前先咨詢(xún)商家。
產(chǎn)品咨詢(xún)
全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)電話(huà)
19270095986
電子郵箱：209023083@qq.com
公司地址：龍華街道龍華大道906號(hào)電商集團(tuán)7層
掃碼加微信
微信
