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詳細介紹
日本HORIBA堀場全新電容式壓力計玉科直銷
日本HORIBA堀場全新電容式壓力計玉科直銷
絕對壓力測量對于包括半導體，FPD, HDD, PV和涂層在內的各種行業的真空工藝是至關重要的。電容式壓力計從膜片的變形來確定總壓力，當膜片的兩側施加壓力差時，膜片發生形變。電容式壓力計較于其他方法的優點是:
• 高精度
• 壓力輸出對氣體的依賴較小
• 相對氣體的耐腐蝕性
微型自加熱設計
創新的電極結構帶來高性能和高穩定性
SUS316L隔膜
可從溫度控制 （55，100°C ） 或非加熱型選擇
一鍵調零
電源要求+/-15VDC 或 24VDC
符合 CE 和 RoHS 標準
| 模型 | VG-211S | VG-221S | ||
| 滿量程測量范圍 | 133.32帕（客） | 1.3332千帕(電流)、13.332千帕(電流)、133.32千帕(電流) | 133.32帕斯卡（A） | 1.3332千帕(電流)、13.332千帕(電流)、133.32千帕(電流) |
| 傳感器溫度*1 | 和。 (25 攝氏度) | 55℃ / 100℃ | ||
| 準確度 *2 | 0.5% 相對濕度 | 0.25% 相對濕度 | 0.5% 相對濕度 | 0.25% 相對濕度 |
| 解決 | 滿量程的 0.03% | 滿量程的 0.01% | 滿量程的 0.03% | 滿量程的 0.01% |
| 零點溫度系數 | 滿量程的 0.01% /℃ | 滿量程的 0.005% /℃ | 滿量程的0.005% /℃ | 滿量程的 0.0025% /℃ |
| 跨度溫度系數 | 0.05% 相對濕度/℃ | 0.03% 相對濕度/℃ | 0.03% 相對濕度/℃ | 0.02% 相對濕度/℃ |
| 響應時間 | < 60毫秒 | |||
| 工作溫度*3 | 10-50℃ | |||
| 接觸液體的材質 | SUS316L | |||
| 加壓極限 | 300千帕（安） | 350千帕（安） | 300千帕（安） | 350千帕（安） |
| 輸出信號 | 0-10VDC負載電阻：10kΩ以上 | |||
| I/O 連接器 | D-Sub 15針 | |||
| 電源電壓 | +15VDC±5％、0.1A最大 -15VDC±5％、0.1A最大 | +15VDC±5%，0.6A最大。-15VDC±5%，0.6A最大。 | ||
| 24VDC±5%，最大2.4W。 | 24VDC±5%，最大22W。 | |||
| 預熱時間 | 15 分鐘 | 60分鐘（55℃控溫型） 120分鐘（100℃控溫型） | ||
| 開路集電極輸出 | 額定電壓：30V 額定電流：50mA | |||
| 重新歸零輸入 *4 | 零電壓觸點輸入 觸點開放電壓：13V 最大觸點電流：1.3mA | |||
| 標準配件*5 | KF16，1/2 英寸 VCR 母頭，ICF34，1/4 英寸 VCR 母頭 | |||
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