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Osaka Vacuum大阪真空小型復合分子泵
簡要描述:

Osaka Vacuum大阪真空TG50F小型復合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型復合分子泵
特點:
輕巧設計
節能
迅速啟動
使用破控功能可迅速停止
耐大氣沖擊能力強
多種通信模式

  • 產品型號:TG50F
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-04-19
  • 訪  問  量:99

詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空小型復合分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型復合分子泵


  • 全面安裝

  • 輕巧設計

  • 節能

  • 迅速啟動

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大氣沖擊能力強

  • 多種通信模式

用途

  • 半導體制造

  • 電子槍排氣,離子源排氣

  • FPD制造

  • 表面處理,表面改質

  • 各種電子部件的制造

  • 分析,試驗裝置

  • 管球制造,光學部件制造

  • 加速器,放射線設施,核聚變研究

  • 熱處理

  • 研究開發

※排放腐蝕性氣體時,請選擇耐腐蝕性的TG-M,TG系列。


吸氣口法蘭VG65/ISO-R63/CF63
排氣速度N2 (L/s)51
N2(附加金屬保護網) (L/s)49
H2 (L/s)12
最大壓縮比N21.4×107
H25×102
極限壓力VG?ISO-R/CF (Pa)<3×10-6
VG?ISO-R/CF (Torr)<2.3×10-8
最大氣體流量※1N2 (sccm)80
啟動時間(min) 1-1.5
停止時間(min)1-1.5
允許輔助壓力(Pa/Torr)1330/10
推薦輔助泵(L/min)≧50
安裝角度任意
重量VG?ISO-R/CF(kg)4.2/6
  • ※1:輔助泵的容量是100L/min情況下的最大容許流量

  • [ 使用環境溫度 ]

  • 極限壓力保證環境溫度是10~23℃。另外,容許環境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10~35℃。

  • [ 對應氣體種類 ]

  • 由于排氣的氣體種類不同,可能導致泵內零件的老化。關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。


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