Osaka大阪真空TG390M磁懸浮軸承型復合分子泵
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵

特點：
■輕巧設計
　■節能
　■分子泵停止與啟動時間短
　■附帶維護警報機能
　■低振動
　■無需調整
　■自動校準
　■可控制轉子旋轉速度
　■大流量排氣
　■多種通信模式
　■符合安全規格　NRTL/SEMI-S2/CE

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詳細介紹

Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵

■輕巧設計
　■節能
　■分子泵停止與啟動時間短
　■附帶維護警報機能
　■低振動
　■無需調整
　■自動校準
　■可控制轉子旋轉速度
　■大流量排氣
　■多種通信模式
　■符合安全規格　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

?半導體制造

?電子槍排氣，離子源排氣
?FPD制造
?表面處理，表面改質
?各種電子部件的制造
?分析，試驗裝置
?管球制造，光學部件制造
?加速器，放射線設施，核聚變研究
?熱處理
?研究開發

※1：輔助泵的容量是320L/min情況下的最大容許流量
[ 使用周囲溫度 ]
極限壓力保證環境溫度是10～23℃。另外，容許環境溫度在空冷情況下是10～32℃，水冷情況下是10～40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10～35℃。
[ 對應氣體種類 ]
由于排氣的氣體種類不同，可能導致泵內零件的老化。
關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。

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