日立 超高分辨場發射掃描電子顯微鏡特點：

日立 超高分辨場發射掃描電子顯微鏡產品介紹：

現有機型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合，衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regulus8100。

"Regulus系列"繼承了現有機型的觀察和分析性能，配備SU8200系列的低噪音冷場發射電子槍*1，可以獲得高穩定的束流。

通過優化電子光學系統，Regulus8240/8230/8220在1 kV條件下分辨率提高到0.7 nm，Regulus8100的分辨率提高到0.8 nm。

此外，為充分發揮超高分辨的能力，放大倍率也從過去的100萬倍提升到200萬倍*1。

Regulus8240/8230/8220/8100還完善了用戶支持功能，通過此功能用戶更容易理解各種復雜信號的檢測原理，幫助用戶充分發揮儀器的優良性能。

*1  僅限Regulus8240/8230/8220

產品特點：

• 沿用"SU8200系列"的冷場發射電子槍

• *2采用電子束在Flashing后出現的高亮度穩定區域作為穩定觀察的區間，使得低加速電壓條件下兼備高分辨觀察和分析的優良性能

(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

• 采用污染小、高真空樣品倉

• 運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

產品規格：

*3  減速模式下觀察

*4  以127 mm × 95 mm底片為基準的倍率