玉崎科學ONYX 3000半導體設備理學Rigaku光學工具
玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具

混合 XRF 和光學計量 FAB 工具
能量色散X射線熒光光譜儀（ED-XRF），能夠以無損、非接觸的方式同時分析300mm和200mm晶圓上各種薄膜的厚度和成分。

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詳細介紹

玉崎科學半導體設備理學Rigaku光學工具

ONYX 3000 特點

Microspot X 射線束和模式識別

器件結構的 2D 和 3D 光學特性

高通量、全面和生產晶圓測量

廣泛的材料和應用

高分辨率和精確度覆蓋從埃到微米的厚度

輕元素靈敏度的氦氣吹掃測量環境

可配置用于小于 300mm 的晶圓

基于SEMIS2和SEMIS8的設計

ONYX 3000 規格

產品名稱	瑪瑙
方法	X 射線熒光和光學顯微鏡
目的	測量從超薄單層薄膜到多層薄膜的所有材料。 BEOL 和 WLP 結構的表征
技術	處理微點 EDXRF 和 2D、3D 光學顯微鏡
主要部件	SEMIS2和SEMIS8，基于微點多毛細管X射線光學器件的設計
選項	SECS/GEM通訊軟件、COLORS光束模塊
控制（電腦）	內部 PC、MS Windows® 操作系統
機身尺寸	1390（寬）×2040（高）×2960（深）毫米
大量的	1250公斤（身體）
電源	單相 208 VAC 50/60 Hz，16A

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